UV激光晶圆切割机
该机器由HGlerer独立研究和开发,具有先进的国际水平。采用高质量的紫外线作为切割源,切屑的切割质量和切割效率远远优于传统的刀片切削设备。自动注册和调整设备可以提高自动化并提供更方便的操作。UV激光冷光源具有小的热影响区域和优越的切割质量。非接触过程可以避免加工压力,提高谷物的切割质量和效率。通过手动切割和CCD图像处理系统,它可以实现手动切割或自动切割。
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HGlerer的自主研发激光晶圆切割机具有先进的国际水平。采用高质量的紫外线作为切割源,切屑的切割质量和切割效率远远优于传统的刀片切削设备。自动注册和调整设备可以提高自动化并提供更方便的操作。UV激光冷光源具有小的热影响区域和优越的切割质量。非接触过程可以避免加工压力,提高谷物的切割质量和效率。通过手动切割和CCD图像处理系统,它可以实现手动切割或自动切割。
●良好的光束质量,小焦点,粒度优越,产量高;
●高可靠性,高稳定性,高安全性,使用寿命长;澳门万博国际
●高精度二维运动平台和高精度旋转平台,数字控制面板,操作简便;
●先进的硬件控制技术和智能软件,自动图像识别和定位。
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●高精度二维运动平台和高精度旋转平台,数字控制面板,操作简便;
●先进的硬件控制技术和智能软件,自动图像识别和定位。
它用于单台和双表玻璃非活动二极管晶片,单桌子和双桌SCR晶片和IC晶片切割和划线在半导体制造业。
激光波长 |
355nm. |
激光功率 |
5号 |
定位精度 |
±4μm |
XY光栅标尺分辨率 |
0.1μm |
Z轴精度 |
±1μm |
旋转轴精度 |
±20“ |
CCD定位精度 |
1-2μm |
重复定位精度 |
±1μm |
工作台路线 |
250mm×250mm. |
最大切割尺寸 |
4英寸 |
切削宽度 |
20-30μm |
切割深度 |
50-80μm |
切割速度 |
60mm / s. |