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UV激光晶圆切割机

该机器由HGlerer独立研究和开发,具有先进的国际水平。采用高质量的紫外线作为切割源,切屑的切割质量和切割效率远远优于传统的刀片切削设备。自动注册和调整设备可以提高自动化并提供更方便的操作。UV激光冷光源具有小的热影响区域和优​​越的切割质量。非接触过程可以避免加工压力,提高谷物的切割质量和效率。通过手动切割和CCD图像处理系统,它可以实现手动切割或自动切割。


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HGlerer的自主研发激光晶圆切割机具有先进的国际水平。采用高质量的紫外线作为切割源,切屑的切割质量和切割效率远远优于传统的刀片切削设备。自动注册和调整设备可以提高自动化并提供更方便的操作。UV激光冷光源具有小的热影响区域和优​​越的切割质量。非接触过程可以避免加工压力,提高谷物的切割质量和效率。通过手动切割和CCD图像处理系统,它可以实现手动切割或自动切割。

良好的光束质量,小焦点,粒度优越,产量高;
高可靠性,高稳定性,高安全性,使用寿命长;澳门万博国际
高精度二维运动平台和高精度旋转平台,数字控制面板,操作简便;
先进的硬件控制技术和智能软件,自动图像识别和定位。

它用于单台和双表玻璃非活动二极管晶片,单桌子和双桌SCR晶片和IC晶片切割和划线在半导体制造业。

激光波长

355nm.

激光功率

5号

定位精度

±4μm

XY光栅标尺分辨率

0.1μm

Z轴精度

±1μm

旋转轴精度

±20“

CCD定位精度

1-2μm

重复定位精度

±1μm

工作台路线

250mm×250mm.

最大切割尺寸

4英寸

切削宽度

20-30μm

切割深度

50-80μm

切割速度

60mm / s.